韓國(guó)光刻膠供應(yīng)商?hào)|進(jìn)世美肯 (Dongjin Semichem) 表示，近日通過(guò)了三星電子的 EUV 光刻膠可靠性測(cè)試(合格)。這款光刻膠為雙方合作研發(fā)，打破韓國(guó) EUV 光刻膠完全依賴(lài)海外供應(yīng)商的局面，最快有望明年上半年向產(chǎn)線批量供應(yīng)。
據(jù) ETNews 報(bào)道，業(yè)內(nèi)人士表示，“東進(jìn)世美肯在其位于京畿道的華城工廠開(kāi)發(fā)了 EUV 光刻膠，并在三星電子的華城 EUV 生產(chǎn)線進(jìn)行了測(cè)試，最終獲得了資格。”并補(bǔ)充道：“兩家公司的合作，使得 EUV 光刻膠能夠以高技術(shù)水平快速開(kāi)發(fā)。”
據(jù)了解，雖然 KrF 和 ArF 氟化物工藝的光刻膠在韓國(guó)已經(jīng)大量生產(chǎn)，但沒(méi)有能夠繪制更精細(xì)電路的 EUV 光刻膠。這是因?yàn)殚_(kāi)發(fā)非常困難，韓國(guó)國(guó)內(nèi)使用的 EUV 光刻膠大部分是從日本進(jìn)口的。
2019 年日本出臺(tái)出口限制措施后，東進(jìn)世美肯開(kāi)始利用自己的基礎(chǔ)設(shè)施，如現(xiàn)有的氟化氬曝光機(jī)和比利時(shí)半導(dǎo)體研究所(IMEC)的 EUV 設(shè)備，將 EUV 光刻膠本土化。同時(shí)，三星提供了 EUV 測(cè)試環(huán)境并且成功提高了光刻膠質(zhì)量，使其能夠被成功應(yīng)用。
三星是否會(huì)立即在其半導(dǎo)體產(chǎn)線上使用東進(jìn)世美肯的 EUV 光刻膠，還有待觀察。通常情況下，測(cè)試合格后就會(huì)用于大批量生產(chǎn)。因此，有人預(yù)測(cè)，最早將于明年上半年供應(yīng)。
雙方拒絕就 EUV 光刻膠認(rèn)證是否通過(guò)一事向 ETNews 發(fā)表評(píng)論。三星有關(guān)人士表示:“無(wú)法與合作伙伴確認(rèn)是否通過(guò) EUV 光刻膠驗(yàn)證”，“正在努力使半導(dǎo)體材料、零部件、設(shè)備(來(lái)源)多樣化。”
